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KLA 探針式臺(tái)階儀工作原理
2025-10-22
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KLA探針式臺(tái)階儀基于"探針接觸掃描+傳感器反饋"技術(shù)，通過(guò)探針與樣品表面接觸并掃描，結(jié)合高精度傳感器實(shí)時(shí)反饋位移變化，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)至微米級(jí)臺(tái)階高度、表面形貌及應(yīng)力的二維/三維測(cè)量。以下是其工作原理的詳細(xì)解析：核心工作原理：探針接觸與掃描探針設(shè)計(jì)：采用金剛石材質(zhì)探針，針尖半徑可細(xì)至0.7μm或更小，確保高橫向分辨率。探針以極輕的力(0.03~50mg)接觸樣品表面，避免損傷軟質(zhì)或脆性材料(如光刻膠、硅晶圓)。掃描方式：通過(guò)樣品臺(tái)或探針在X-Y平面勻速移動(dòng)，探針沿表面劃過(guò)時(shí)，因表...
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自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀的主要特點(diǎn)有以下九個(gè)
2025-10-20
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自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀的薄膜光譜反射系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度及n&k，采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以在幾秒鐘的時(shí)間內(nèi)快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、或方形、或線(xiàn)性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。針對(duì)不同的晶圓尺寸，盒對(duì)盒系統(tǒng)可以很容易的自動(dòng)轉(zhuǎn)換，匹配當(dāng)前盒子的尺寸。49點(diǎn)的分布圖測(cè)量只需耗時(shí)約45秒。自動(dòng)測(cè)量光學(xué)膜厚儀的主要特點(diǎn)：1、基片折射率和消光系數(shù)測(cè)量；2、薄膜厚度測(cè)量，平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差分析；3、薄膜折射率和消光系數(shù)測(cè)量；4、...
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四探針電阻率測(cè)量?jī)x測(cè)量方法和注意事項(xiàng)
2025-10-17
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四探針電阻率測(cè)量?jī)x是一種用于測(cè)量材料表面電阻的儀器，在電子制造行業(yè)，特別是在PCB板、纖維布、皮革、塑料等材料的表面電阻測(cè)試中，它被廣泛使用。下面我們來(lái)了解一下四探針電阻率測(cè)量?jī)x的使用方法。首先，我們需要準(zhǔn)備一臺(tái)四探針電阻率測(cè)量?jī)x。然后，確定要測(cè)試的材料的表面。確保材料表面干凈，無(wú)灰塵、油脂或其他污染物。接下來(lái)，將材料放在測(cè)試儀的測(cè)試平臺(tái)上。確保材料與測(cè)試平臺(tái)之間沒(méi)有空氣間隙，以保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。然后，根據(jù)測(cè)試要求，選擇相應(yīng)的測(cè)試方法和測(cè)試參數(shù)。對(duì)于常見(jiàn)的測(cè)試方法，有四線(xiàn)...
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選購(gòu)主動(dòng)式減震系統(tǒng)的幾個(gè)注意事項(xiàng)
2025-10-14
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實(shí)驗(yàn)室的工作追求的是性，可是環(huán)境振動(dòng)源的影響很容易成為一個(gè)問(wèn)題，一些實(shí)驗(yàn)可能由于輕微振動(dòng)的影響而無(wú)法獲得的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。主動(dòng)式減震系統(tǒng)就是為了解決這一問(wèn)題產(chǎn)生的，它采用主動(dòng)或被動(dòng)的隔振措施隔離振動(dòng)，提供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面。實(shí)驗(yàn)或測(cè)量不受振動(dòng)因素。為了達(dá)到理想的效果，減震平臺(tái)必須滿(mǎn)足幾個(gè)條件。首先，它必須有一個(gè)剛性臺(tái)面，能夠穩(wěn)定地固定實(shí)驗(yàn)儀器。其次，它沒(méi)有固有共振，而且能夠有效地抑制由實(shí)驗(yàn)中電機(jī)或移動(dòng)部分產(chǎn)生的任何振動(dòng)，并能夠隔離環(huán)境振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置的影響。下面我們來(lái)說(shuō)說(shuō)選購(gòu)主動(dòng)式減震...
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KLA光學(xué)輪廓儀在超薄膜厚度測(cè)量中的關(guān)鍵應(yīng)用
2025-9-19
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KLA光學(xué)輪廓儀在鈣鈦礦電池到半導(dǎo)體制造的超薄膜厚度測(cè)量中，憑借其高精度、非接觸式測(cè)量和多功能性，成為關(guān)鍵工具，具體應(yīng)用如下：一、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池中的超薄膜厚度測(cè)量TCO層測(cè)量：重要性：TCO層是鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的重要組成部分，必須在導(dǎo)電性能良好的情況下具有很高的透光率、低電阻和高熱穩(wěn)定性。測(cè)量實(shí)例：使用KLA光學(xué)輪廓儀，可以精確測(cè)量玻璃上IZO薄膜的厚度，如6.8nm和37.1nm的樣品。ETL層測(cè)量：重要性：ETL層在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池中具有收集電子、傳輸電子并阻隔空穴以降...
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光學(xué)表面輪廓儀是一種用于測(cè)量和繪制物體輪廓的裝置
2025-9-15
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光學(xué)表面輪廓儀通常由一個(gè)激光測(cè)距儀和一個(gè)移動(dòng)平臺(tái)組成。激光測(cè)距儀通過(guò)發(fā)射激光束并接收返回的激光信號(hào)，可以精確地測(cè)量物體的距離。移動(dòng)平臺(tái)則用于控制激光測(cè)距儀在水平和垂直方向上的移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體輪廓的全面掃描。在測(cè)量過(guò)程中，光學(xué)表面輪廓儀會(huì)將物體的輪廓點(diǎn)云數(shù)據(jù)采集下來(lái)，并通過(guò)特定的算法進(jìn)行處理和分析。這些算法可以將點(diǎn)云數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為三維模型，并進(jìn)一步提取出物體的尺寸、曲率、角度等信息。利用這些數(shù)據(jù)，工程師和設(shè)計(jì)師可以更好地了解物體的結(jié)構(gòu)和形狀，從而進(jìn)行下一步的設(shè)計(jì)和制造工作。光學(xué)...
