Filmetrics 自動測量光學(xué)膜厚儀介紹：

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，速度達到每秒兩點。

特點優(yōu)勢：

• 自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結(jié)果；

• 可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；

• 測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；

測量原理：

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

應(yīng)用與膜層范例：

常見工業(yè)應(yīng)用：

產(chǎn)品參數(shù)：

Filmetrics 自動測量光學(xué)膜厚儀測量圖：